?精密切割
精密切割加工是制备半导体和光电晶体基片的主要加工工艺之一,在微电子、光电子器件的制造过程中占有很高的地位。而随着微电子和光电子技术飞速发展,对半导体和光电晶体的切割加工提出更高要求。高效率、低成本、高精度、窄切缝、小翘曲变形、低表面损伤、低碎片率、无环境污染等是目前半导体和光电晶体的切割加工的新趋势。(1)从目前国内外加工的现状来看,硬脆性材料切割方法多种多样,主要有:金刚石圆盘锯切割(如外圆锯片切割和内圆锯片切割)、金刚石带锯切割、电火花线切割(只能用于带金属晶体)、游离磨料线锯切割和金刚石线锯切割等等。
金属切割
电火花线切割的缺点
有时某些工件可能会在表面出现裂纹、变形等问题。切割后的金属表面没有露较原始的金属,而是覆盖一层氧化皮,若想观察原始金属层,需先将金属表面的氧化皮磨掉,否则影响整个样品表面的形态。
对于一些熔点特别高的金属切割,如钨合金,切割时接触点放电的热量所提供的温度达不到其熔点,因此难以对其进行切割。当被加工材料不导电且需要采用线切割的方式进行加工时,此时电火花线切割机不再适用。
高速切割设备
切割行程的设置:
切割行程=样品的长度+5mm。为保证将样品切断,通常会在样品的实际高度之上增加5㎜。当要求对样品进行开槽时,实际切割行程应与开槽深度相同,为保证停止切割时所开槽口深度达到要求,当切割行程达到设定行程时应暂停切割,但主轴带动金刚石切割线继续运行一段时间,从而使样品未达到切割深度的位置继续被切割,直到样品被切割部位每一点都达到所要求的切割深度。目前,金刚线切割工艺的辅料主要为金刚线及切割液:金刚线金刚石锯线是一种固态研磨工具,金刚石颗粒用电镀或者环氧基方式粘接在基线上。