带锯切割硬脆贵重晶体时的切口大、切割应力大、切割晶体边缘有崩边甚至晶体开裂[3]。内外圆锯切割受圆锯片刚度限制切割尺寸一般小于200mm 且切割直沟槽时工艺性差。游离磨料切割磨料回收困难、硬晶体的切割效率低、污染严重等问题不利于YAG 晶体等硬度较高的脆性材料加工。往复式固接金刚石线锯由于切割时换向导致切割产品出现“换向纹”,切割速度难以提高、切割效率相对较低。
Mech在 1974 年使用金刚石线锯切割工艺,电镀金刚石线锯,在以后不断发展中该技术逐渐应用于切割硅及其晶体、KDP、红宝石、石英等高硬度脆性材料。随着太阳能光伏材料普遍应用及其它硬脆材料的发展,金刚石线锯丝制作技术和机床制造技术得到长足发展。线锯机床根据锯丝的运动方式不同可分成多种形式切割机床。其中绕线式的绕线长度较长,可同时切割多片晶体,电镀金刚石线锯设备,一般有两个收放轮,其绕线长度可达 30km 以上,较长时间内不换向可实现高速高效切割。
量试验表明单颗金刚石磨粒切割硬脆材料时以崩碎切除为主,切割过程虽以脆性去除为主但仍有塑性变形区的存在,电镀金刚石线锯sem,而切割材料成分决定着塑性变形区。
金刚石磨粒前半部分压应力使材料发生剪切,切割脆性材料被破碎崩裂并推挤处加工区域。在金刚石磨粒较底部由于高的压应力作用使切割材料发生延性变形(二次切屑)而变为光滑表面,该表面一般呈光滑状, 厚度有几微米厚。